讲座主题：半导体智能制造的生产优化

时间：2022年11月22日 09:30-11:00 

地点：腾讯会议：937-695-260 

主讲人：林国义 研究员 

工作单位：同济大学 自主智能无人系统科学中心 

　　摘要：半导体芯片制造工艺由数百个复杂工艺组成，在制造过程中设备传感器可透过自动化或半自动化的方式搜集传感器之相关数据，搭配专家的经验与智能，提供生产优化及控制的可能性。智能制造的生产优化及控制具有其挑战包含随机抽样、少量低产量芯片。为了研究工艺步骤对芯片产量的影响，不仅需要高产量芯片，还需要低产量芯片。然而，随着芯片生产线变得成熟和稳定，大多数芯片具有高产量，导致关键工艺步骤良率分析的挑战，更影响制程控制之成效。设备参数数十种至数百种、设备状态变化频繁、实时制程监测具有时间落差，为半导体薄膜制造控制之关键问题。本报告重点针对半导体智能制造的生产优化，基于神经网络补偿的问题，给出知识和数据驱动的制造流程协同优化控制解决方案。通过领域知识与深度学习的合作优化决策、实际系统的相互协同，实现具有预测与自优化功能的半导体制造过程实时型制程控制.在此基础上分析了生产制造全流程优化控制对过程控制与运行优化、以及控制系统实现技术的挑战,分析了实现生产制造全流程优化控制应开展的研究内容。